1.準值儀4種孔徑內藏式

儀器測量直徑最小可達到150微米?？晒┻x擇的準直器直徑

有0.1、0.2、0.3和1.5毫米。

2.自動測定測量臺

利用滑鼠來調整測量位置，非常敏捷快速。自動聚焦，或是測量位置已完成登陸時，可連續(xù)自動測定，利用座標補正、連結頻道，來應付各種測量軌跡。亦可用自動測定來作標準片校正。

3.優(yōu)越的機能

配有超大功率X射線光管和高靈敏度探測器，能夠滿足復雜樣品和微小測試面積的檢測需求。

4.測定部顯示盡像的表示

X線照射部可由WINDOWS畫面上取得照射部的表示。從準儀照射測定物的位置，可由倍率更機能來實現盡面上測出物放大。

5.在膜厚測定中的能譜表示

由多頻分析器可快速處理能譜分析?？蓤?zhí)行測定物的能譜分析表示，操作簡單。

提長資料處理的速度